高效過濾器的快速發展趨勢是與國防工業生產和電子工業的發展趨勢密不可分有關的。在第一次世界大戰期內,因為高效過濾器各種各樣有機化學毒劑的應用,以玻璃纖維棉除菌過濾器做為濾煙層的軍工用防毒面罩應時而生。玻纖過慮物質用以空氣凈化于1940年十月在國外獲得專利權。50年代,英國對玻纖除菌過濾器的生產工藝流程開展了深層次的科學研究,使高效過濾器獲得了改進和發展趨勢。六十年代,HEPA過濾裝置面世;七十年代,選用超微粒玻纖除菌過濾器做為過慮物質的HEPA過濾裝置,對0.13μm粒度的顆粒過濾效率達到99.9998%。八十年代至今,伴隨著新的測試標準的出現、應用點評的提升及對過慮特性規定的提升,發覺HEPA過濾裝置存有著比較嚴重的難題,因此又造成了特性高些的ULPA過濾裝置。現階段,世界各國仍在勤奮科學研究,估算沒多久便會出現更優秀的高效過濾器。